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江苏英思特半导体科技有限公司
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英思特去胶清洗机

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详细说明

    产品用途

适用于 2寸~6寸硅片去胶清洗

整机构造

骨架:进口10mmPP板,优质不锈钢骨架,外包3mmPP板防腐;

外壳:进口10mmPP板;

安全门:采用透明上下推拉门;

管路:管路位于下后部,以节省空间,采用英制接口;

灭火系统:烟热感应CO2自动灭火系统位于工作台面上部;

排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量调节装置;

工作照明:机台上方配照明(与工作区隔离);

台面板为优质不锈钢材质(带有漏液孔);

DI/N2 GUN:可伸缩的DI水枪和气枪各2把,分置于工作区两侧;

人机界面:Touch Screen彩色界面;

支脚:有滑轮装置和固定装置,可调整高度和锁定;

三色报警等和蜂鸣器

控制系统

PLC可程式控制器(欧姆龙)+Touch Screen彩色人机界面操作。

制程参数皆采用可设定、修改;

操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。

配有独立配电箱,电路区进行功能分块,强电、弱电块,以便于维护;

具Password功能以避免操作人员误改参数:

Password-1.启动及可进入自动模式內容。

Password-2可进入编辑模式修改制程参数。

Password-3可进入手动模式。

 
江苏英思特半导体科技有限公司
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